加工设备
加工设备:
l 多规格数控磨镜机,目前光学单体镜面最大加工口径可达4m
l 5m环抛机
l 1.5m离子束加工设备(自研)
l 磁流变加工机床
检测设备:
l 24寸ZYGO平面干涉仪
l 4D动态干涉仪 十余台
l WYKO、ESDI平面干涉仪
l 三坐标测量机
l 粗糙度测量仪
l 光学定位仪
l 激光跟踪仪
l 折射率测量仪
l 高精度球径仪
l 红外光学非球面面形测量仪
l Lamda950分光计
l Cary5000分光计
镀膜设备:
l 3.2米箱式光学镀膜机、
l 2.2米箱式光学镀膜机
l 1.6米箱式光学镀膜机
l 1.3米高精密滤光片镀膜机
l 1.1米箱式红外镀膜机