专利名称: | 主动抛光盘面形控制的力控制方法及其设备 | ||
专利类别: | 发明 | ||
申请号: | 200610037806.3 | ||
申请日期: | 2006-1-16 | ||
专利号: | 496728 | ||
第一发明人: | 李颖 | ||
其它发明人: | 汪达兴 | ||
国外申请日期: | |||
国外申请方式: | |||
专利授权日期: | |||
缴费情况: | |||
实施情况: | |||
专利证书号: | |||
专利摘要: | |||
其它备注: | |||
专利名称: | 主动抛光盘面形控制的力控制方法及其设备 | ||
专利类别: | 发明 | ||
申请号: | 200610037806.3 | ||
申请日期: | 2006-1-16 | ||
专利号: | 496728 | ||
第一发明人: | 李颖 | ||
其它发明人: | 汪达兴 | ||
国外申请日期: | |||
国外申请方式: | |||
专利授权日期: | |||
缴费情况: | |||
实施情况: | |||
专利证书号: | |||
专利摘要: | |||
其它备注: | |||