专利名称:	非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器
专利类别:	发明专利
申请号:	201010120779.2
申请日期:
专利号:
第一发明人:	张勇,李烨平
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: